[发明专利]移动至少一个光学部件的方法有效
| 申请号： | 201580008654.1 | 申请日： | 2015-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN106030410B | 公开（公告）日： | 2018-09-18 |
| 发明（设计）人： | S.克朗;L.伯杰 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B7/18 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈钘;张邦帅 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种移动光学部件的方法，其中，当移动部件时，所需的最大电功率小于用于移动的至少两个致动器的最大电功率之和。 | ||
| 搜索关键词： | 移动 至少 一个 光学 部件 方法 | ||
【主权项】：
1.一种移动光学部件形式的至少一个机械装置(23)的方法，该至少一个机械装置具有至少两个移动自由度，该方法包括下列步骤：‑提供具有至少一个机械装置(23)的机电系统，该至少一个机械装置能够借助至少两个电动致动器(47；57；58)从第一移动位置(34)移动到第二移动位置(35)；‑预先定义最大功率(Pmax)，其允许由所有致动器(47；57；58)在机械装置(23)的移动期间在任意时刻一起消耗，其中，最大功率(Pmax)小于所有单独致动器(47；57；58)的最大功率(Pimax)之和(S)；‑确认驱动协议，用于在符合预定最大功率(Pmax)的同时，使至少一个机械装置(23)从该第一移动位置(34)沿移动轨迹(33)移动到该第二移动位置(35)；以及‑根据驱动协议通过驱动致动器(47；57；58)来移动机械装置(23)。
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