[发明专利]新三甲硅烷基胺衍生物、其制备方法以及使用其的含硅薄膜有效
| 申请号： | 201580009063.6 | 申请日： | 2015-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN106029680B | 公开（公告）日： | 2019-03-22 |
| 发明（设计）人： | 张世珍;李相道;金宗炫;金成基;金度延;杨炳日;昔壮衒;李相益;金铭云 | 申请（专利权）人： | DNF有限公司 |
| 主分类号： | C07F7/10 | 分类号： | C07F7/10;C23C16/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 顾晋伟;郑毅 |
| 地址： | 韩国大*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供了新三甲硅烷基胺衍生物、用于制备其的方法和使用其的含硅薄膜，其中三甲硅烷基胺衍生物是具有热稳定性、高挥发性和高反应性并且在室温下和压力下呈液态(可以进行处理)的化合物，其可以通过多种沉积方法形成具有优良物理和电学特性的高纯度含硅薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 新三甲 硅烷 衍生物 制备 方法 以及 使用 薄膜 | ||
【主权项】：
1.一种用于沉积含硅薄膜的组合物，包括由以下化学式1表示的三甲硅烷基胺衍生物：[化学式1]![]()
在化学式1中，R1和R2各自独立地为氢或C1‑C3烷基，前提是排除其中R1和R2两者均为甲基的情况。
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