[发明专利]用于投射光刻的照明光学单元有效
| 申请号： | 201580009540.9 | 申请日： | 2015-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN106030415B | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | M.恩德雷斯 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 张邦帅 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于投射光刻的照明光学单元。在此，第一传输光学单元用于引导从光源发出的照明光。照明预定分面反射镜布置在第一传输光学单元下游且包含多个照明预定分面。该分面反射镜借助所照明的照明预定分面的布置而产生物场的预定照明。这造成了对照明光学单元的照明光瞳的照明，其预先确定物场中的照明角度分布。照明光瞳具有偏离圆形形式的包络线。照明光瞳划分为子光瞳区域(30)，其以逐列(Z)和/或逐行(S)方式布置。这产生了照明光学单元与设置在其下游的投射光学单元的尽可能完全填充的出瞳，以在像场中成像物场。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 投射 光刻 照明 光学 单元 | ||
【主权项】：
一种用于投射光刻的照明光学单元(11)，用于照明物场(8)，‑包含第一传输光学单元(4)，用于引导从光源(2)发出的照明光(3)；‑包含照明预定分面反射镜(7)，其布置在该第一传输光学单元(4)的下游并包含多个照明预定分面(25)，所述分面反射镜借助被照明的照明预定分面(25)的布置产生该物场(8)的预定照明；‑包含照明光学单元(11)的布置，使得这导致对照明光学单元(11)的具有最大范围的照明光瞳的照明，其具有偏离圆形形式的包络线(33)并预先确定该物场(8)中的照明角度分布；‑其中，该照明光瞳划分为以逐列(Z)和/或逐行(S)方式布置的多个子光瞳区域(30)。
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