[发明专利]加速度计有效
| 申请号： | 201580009637.X | 申请日： | 2015-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN106030314B | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | A.R.马尔弗恩;K.哈里什 | 申请（专利权）人： | 大西洋惯性系统有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01P15/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李晨;胡斌 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于加速度计的感测结构，其包括：通过柔性支腿安装到支撑件的检验质量块以用于响应于沿着感测方向施加的加速度的平面内移动；所述检验质量块包括基本垂直于所述感测方向延伸并且在所述感测方向上间隔开的多个可移动电极指状物；至少一对固定电容电极，其包括基本垂直于所述感测方向延伸并且在所述感测方向上间隔开的第一组固定电极指状物和第二组固定电极指状物；所述第一组固定电极指状物和所述第二组固定电极指状物与所述可移动电极指状物互相交叉、分别在一个方向和相反方向上与两者间的中线具有第一偏移和第二偏移；其中所述检验质量块是围绕所述固定电容电极的外框架，所述柔性支腿从所述检验质量块横向向内延伸到中央锚。 | ||
| 搜索关键词： | 加速度计 | ||
【主权项】：
一种用于加速度计的感测结构，其包括：支撑件和通过柔性支腿安装到支撑件的检验质量块以用于响应于沿着感测方向施加的加速度的平面内移动；所述检验质量块包括基本垂直于所述感测方向延伸并且在所述感测方向上间隔开的多个可移动电极指状物；以及至少一对固定电容电极，其包括基本垂直于所述感测方向延伸并且在所述感测方向上间隔开的第一组固定电极指状物和第二组固定电极指状物；所述第一组固定电极指状物布置来与所述可移动电极指状物互相交叉、在一个方向上与两者间的中线具有第一偏移，并且所述第二组固定电极指状物布置来与所述可移动电极指状物互相交叉、在相反方向上与两者间的中线具有第二偏移；其中所述检验质量块采取围绕所述至少一对固定电容电极的外框架的形状，所述柔性支腿从所述检验质量块横向向内延伸到具有沿着所述感测方向的相对于所述固定电容电极对居中的位置的中央锚。
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