[发明专利]使用影子成像图像的自动化在线检验和计量

摘要

本发明揭示轮廓剪影(Shadow‑gram)，其用于堆叠晶片的边缘检验和计量。系统包含：光源，其将准直光引导在所述堆叠晶片的边缘处；检测器，其与所述光源相对；及控制器，其连接到所述检测器。所述堆叠晶片可相对于所述光源旋转。所述控制器分析所述堆叠晶片的所述边缘的轮廓剪影图像。比较所述堆叠晶片在所述轮廓剪影图像中的侧影(silhouette)的测量与预定测量。可汇总并分析沿所述堆叠晶片的所述边缘的不同点处的多个轮廓剪影图像。

主权项

1.一种系统，其包括：光源，其经配置以将准直光成切线引导在堆叠晶片的圆周边缘处，其中所述堆叠晶片包含第一层和第二层，所述第二层安置于所述第一层的顶部；检测器，其安置于来自所述光源的所述堆叠晶片的相对侧，以从所述光源接收所述准直光的至少一些，其中所述检测器经配置以获取所述堆叠晶片的所述圆周边缘的影子成像图像，其中所述影子成像图像经配置以通过应用影子成像技术以对所述堆叠晶片的所述第一层和所述第二层的边缘轮廓的影子成像；及控制器，其操作性地连接到所述检测器，其中所述控制器经配置以：接收所述影子成像图像；及比较所述影子成像图像的特性与预定测量以检验所述堆叠晶片的所述边缘轮廓。