[发明专利]测量非球面和其它非平坦表面的形貌有效
| 申请号： | 201580010491.0 | 申请日： | 2015-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN106030241B | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | T.德雷塞尔;J.利塞纳;P.J.德格鲁特 | 申请（专利权）人： | 齐戈股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈钘;张邦帅 |
| 地址： | 美国康*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种生成非平坦表面的复合图像的方法，包括：使用显微镜获取非平坦表面的不同区域的多个三维图像，其中每个图像包括与至少一个相邻图像的重叠区域，显微镜具有足够的分辨率以对具有10微米或更小的横向尺寸和10纳米或更小的高度的非平坦表面上的微结构进行三维成像；对于每个图像，确定将图像中的测试对象的位置和取向关联到共同的坐标系的刚体参数组，其中所述刚性体参数组通过匹配图像的重叠区域中的已解析微结构与相邻图像的重叠区域中的对应微结构而确定；以及基于刚体参数组组合多个图像以生成表面的复合图像。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 球面 其它 平坦 表面 形貌 | ||
【主权项】：
1.一种使用显微镜生成测试对象的非平坦表面的复合图像的方法，所述方法包括：使用显微镜获取非平坦表面的不同区域的多个三维图像，其中每个图像包括与至少一个相邻图像的重叠区域，显微镜具有足够的分辨率以对具有10微米或更小的横向尺寸和10纳米或更小的高度的非平坦表面上的微结构进行三维成像；对于每个重叠区域，识别具有10微米或更小的横向尺寸和10纳米或更小的高度的对应微结构；对于每个图像，确定将图像中的测试对象的位置和取向关联到共同的坐标系的刚体参数组，其中所述刚体参数组通过匹配图像的重叠区域中的已解析微结构与相邻图像的重叠区域中的对应微结构而确定；其中，对于一系列相邻图像对，执行图像的重叠区域中的已解析微结构与相邻图像的重叠区域中的对应微结构的匹配；其中，对于每个相邻图像对，该匹配得到使图像对中的图像之间的测试对象的相对位置和取向相关联的中间刚体参数组；以及其中，执行全局优化，以获得最佳地适配中间刚体参数组的最终刚体参数组以及基于最终刚体参数组组合多个图像以生成表面的复合图像。
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