[发明专利]压差感测基座

摘要

一种压差传感器包括压力感测基座，压力感测基座包括半导体基座，半导体基座具有形成膜的减薄部分。膜包括压阻元件，其呈现基于施加在膜上的力的变化的阻抗。第一支撑结构连结到半导体基座的第一表面，具有孔，该孔限定为穿过该支撑结构使得膜的第一表面通过该孔而暴露。第二支撑结构连结到半导体基座的相反侧，并且具有与膜的相反侧对齐的孔。与压阻元件电连通的电气部件布置在由第一和第二支撑元件及半导体基座之间的连结部限定的区域之外。油填充的空间可被限定在半导体基座和恶劣的媒介之间，其将流体压力传递至基座，而恶劣的媒介没有接触基座。

主权项

一种压差感测基座(300)，用于测量两种隔离的流体之间的压差，所述压差感测基座包括：半导体感测基座(301)，具有上表面(310u)和下表面(310l)，并且具有有着第一厚度的第一区域、以及有着第二厚度的第二区域，所述第二厚度小于所述第一厚度，所述第二区域限定膜(313、363)，所述膜具有设置于其上的至少一个压阻元件(365)，所述至少一个压阻元件响应于所述膜的变形而呈现变化的阻抗；连结到所述半导体基座的上表面的第一支撑结构(351)，所述第一支撑结构具有限定为从其通过的孔(307)，所述孔适合于将所述膜通过所述第一支撑结构暴露、并且提供与第一半导体基座的上表面的密封；以及连结到所述半导体基座的下表面的第二支撑结构(353)，所述第二支撑结构具有限定为从其通过的孔(309)，所述孔适合于将所述膜通过所述第二支撑结构暴露。