[发明专利]表面粗化方法有效
申请号: | 201580011270.5 | 申请日: | 2015-03-27 |
公开(公告)号: | CN106061627B | 公开(公告)日: | 2020-08-04 |
发明(设计)人: | 染谷安信;坂本力丸;岸冈高广 | 申请(专利权)人: | 日产化学工业株式会社 |
主分类号: | B05D3/10 | 分类号: | B05D3/10;B05D7/24;H01L51/50;H05B33/02;H05B33/10 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 李照明;段承恩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种表面粗化方法,包括第1工序和第2工序,所述第1工序是在基板上或在基板上的层上涂布含有无机粒子(a1)和有机树脂(a2)的组合物(a3)并进行干燥和固化,从而形成有机树脂层(A)的工序,所述第2工序是从该基板的上方进行蚀刻,从而将该基板的表面粗化的工序。 | ||
搜索关键词: | 表面 方法 | ||
【主权项】:
一种表面粗化方法,包括第1工序和第2工序,所述第1工序是在基板上或在基板上的层上涂布含有无机粒子a1和有机树脂a2的组合物a3并进行干燥和固化,从而形成有机树脂层A的工序,所述第2工序是从该基板的上方进行蚀刻,从而将该基板的表面粗化的工序。
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