[发明专利]测定误差的校正方法以及电子器件特性测定装置

摘要

本发明考虑到由测定夹具使测定值产生误差的三个原因(传输线路的不同，直达波的不同，非传输线路的不同)，能对测定夹具间的测定值差高精度地进行校正。针对相对误差校正电路网模型(38)的全部的系数，利用最大似然法计算似然值，基于如下假设导出该相对误差校正电路网模型：对于从与高频信号的施加或检测有关的信号线端口和信号线端口以外的非信号线端口中选出的所有两个端口间的组合，假设存在直接传输的泄漏信号。利用第一相对误差校正电路网子模型的系数和第二相对误差校正电路网子模型的非信号端口的系数，作为初始值，基于如下假设导出第一相对误差校正电路网子模型：针对仅从信号线端口选出的所有两个端口间的组合，假设存在有在端口间直接传输的泄漏信号；基于如下假设导出第二相对误差校正电路网子模型：假设存在在非信号线端口反射的信号。

主权项

1.一种测定误差的校正方法，该校正方法针对具有与高频信号的施加或检测有关的信号线连接的信号线端口以及所述信号线端口以外的非信号线端口的电子器件的电学特性，根据使所述电子器件连接能对所述信号线端口以及所述非信号线端口进行测定的试验夹具的状态下测定到的结果，计算假设使所述电子器件连接仅能对所述信号线端口进行测定的基准夹具的状态下所应该测定得到的该电子器件的电学特性的推测值，其特征在于，该校正方法包括：第一步骤，该第一步骤在使至少三种能视为具有等同的电学特性的校正数据取得用试料与所述试验夹具连接的状态下，针对各个所述校正数据取得用试料的至少一个信号线端口和至少一个非信号线端口，测定电学特性，且在与所述基准夹具连接的状态下，针对各个所述校正数据取得用试料的至少一个信号线端口，测定电学特性，获得第一测定值；第二步骤，该第二步骤准备使至少一个所述信号线端口和至少一个所述非信号线端口电连接的校正数据取得用连通器件，在使所述校正数据取得用连通器件与所述试验夹具连接的状态下，对该信号线端口以及该非信号线端口进行测定，且在使所述校正数据取得用连通器件与所述基准夹具连接的状态下，对该信号线端口进行测定，获得第二测定值；第三步骤，该第三步骤基于所述第一测定值和所述第二测定值，根据在使所述电子器件与所述试验夹具连接的状态下对所述信号线端口以及所述非信号线端口进行测定的结果，确定数学式，该数学式用于计算假设在使所述电子器件与所述基准夹具连接的状态下对所述信号线端口进行测定所应该得到的该电子器件的电学特性的推测值；第四步骤，该第四步骤对任意的所述电子器件，在与所述试验夹具连接的状态下对所述信号线端口以及所述非信号线端口进行测定；以及第五步骤，该第五步骤基于所述第四步骤得到的测定值，利用在所述第三步骤确定的所述数学式，计算假设在使该电子器件与所述基准夹具连接的状态下对所述信号线端口进行测定所应该得到的该电子器件的电学特性的推测值，所述第三步骤中确定的所述数学式使用相对误差校正电路网模型来表示，基于如下假设导出所述相对误差校正电路网模型：分别在所述基准夹具和所述试验夹具中，除了在所述信号线端口以及所述非信号线端口的各端口内的信号传输之外，对于从所述信号线端口以及所述非信号线端口中选出的所有两个端口之间的组合，假设存在有未传输至与该两个端口连接的所述电子器件而在该两个端口间直接传输的泄漏信号，所述第三步骤包含：第一子步骤，该第一子步骤基于所述第一测定值计算第一相对误差校正电路网子模型的第一系数，基于如下假设导出所述第一相对误差校正电路网子模型：分别在所述基准夹具和所述试验夹具中，除了在所述信号线端口的各端口内的信号传输之外，对于仅从所述信号线端口中选出的所有两个端口之间的组合，假设存在有未传输至与该两个端口连接的所述电子器件而在该两个端口间直接传输的所述泄漏信号；第二子步骤，该第二子步骤基于所述第二测定值计算第二相对误差校正电路网子模型的系数中、所述第一系数对应的所述系数之外的第二系数，基于如下假设导出所述第二相对误差校正电路网子模型：分别在所述基准夹具和所述试验夹具中，除了所述第一相对误差校正电路网模型中的假设之外，还假设存在由所述非信号线端口反射的信号；以及第三子步骤，该第三子步骤针对所述相对误差校正电路网模型的所述系数中、所述第一以及第二系数所对应的所述系数，将所述第一以及第二系数用作初始值，其它的所述系数将规定值用作初始值，利用所述第一测定值以及所述第二测定值，通过最大似然法对所述相对误差校正电路网模型的全部的所述系数的似然值进行计算，利用计算出的所述似然值确定所述数学式。