[发明专利]用于等离子体电极的电活性的和化学活性的吸附层

摘要

在基底上形成薄膜的系统使用等离子体来激活与反应空间连接的等离子体发生器内的至少一种气态前驱体。等离子体发生器有效的利用至少一对等离子体电极由至少一部分前驱体气体来产生等离子体，等离子体电极具有展示如下性质特点的非原生的导电吸附层：利用等离子体发生区域内的至少一种气体能够使吸附层基本保留并具有化学活性。

主权项

一种系统，使用等离子体激活膜沉积过程由至少一种气体前驱体在基底上形成薄膜，所述系统包括：反应空间，当所述系统在使用时，所述反应空间被供给前驱体气体并被提供基底；和等离子体发生器，与所述反应空间活动地连接并且在等离子体发生区域内由至少一部分所述前驱体气体来产生等离子体，所述等离子体发生器具有包括非原生导电吸附层的至少一个等离子体电极，所述吸附层展示了如下性质：利用等离子体发生区域内存在的至少一种气体使所述吸附层基本保留并具有化学活性。