[发明专利]光学元件和具有光学元件的光学布置有效
| 申请号： | 201580011909.X | 申请日： | 2015-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN106104317B | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | H-J.保罗;B.比特纳;N.瓦布拉;T.希克坦兹 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B5/08 | 分类号： | G02B5/08;G02B5/20;G03F7/20;G21K1/06 |
| 代理公司： | 11105 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陈钘;张邦帅 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光学元件(1)，包括：基板(2)、施加到基板(2)的涂层(3，9，5)，其中，涂层(3，9，5)包括：反射多层涂层(5b)，其实施用于反射具有一使用波长(λEUV)的辐射(4)；以及抗反射涂层(3)，其布置在该基板(2)和该反射多层涂层(5b)之间，用于抑制对具有与该使用波长(λEUV)不同的加热波长(λH)的加热辐射(7)的反射。本发明还涉及一种光学布置，其包括至少一个这种光学元件(1)和用于光学元件(1)的热操纵的至少一个装置，该装置包括至少一个加热光源(8)，用于产生加热辐射(7)。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 具有 布置 | ||
【主权项】：
1.一种光学布置(10,101,202)，包括至少一个元件(1,126,M2)，该光学元件包括：/n基板(2),/n涂层(3、9、5；3、9、5')，施加至该基板(2)，并且包含：/n反射多层涂层(5b、5')，其实施用于反射具有一使用波长λ
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