[发明专利]用于电子器件的测试装置的高平面性探针卡

摘要

本发明描述了一种用于电子器件的测试装置的探针卡，包括：至少一个容纳多个接触探针(22)的测试头(21)，各接触探针(22)具有至少一适合于接靠在待测器件(25)的接触垫上的接触尖端，以及与加强件(24)和中间支承件(26)关联的所述测试头(21)的支承板(23)，该中间支承件(26)连接至所述支承板(23)并适合在所述中间支承件(26)的相对两侧上制得的接触垫之间提供距离的空间变换。合宜地，所述探针卡包括与所述中间支承件(26)结合的支承元件(28)，所述支承元件(28)由刚度大于所述中间支承件(26)的材料制得，由此能够实现所述中间支承件(26)的局部微观校正。

主权项

1.用于电子器件的测试装置的探针卡(20)，包括：至少一个容纳多个接触探针(22)的测试头(21)，各接触探针(22)具有至少一适合于接靠在待测器件(25)的接触垫上的接触尖端；与加强件(24)关联的所述测试头(21)的支承板(23)；中间支承件(26)，该中间支承件(26)连接至所述支承板(23)并适合于在所述中间支承件(26)的相对两面上制得的接触垫之间提供距离的空间变换；以及支承元件(28)，该支承元件(28)通过刚度大于所述中间支承件(26)的材料制得，其特征在于，所述探针卡(20)还包括调节系统(30)，其适合使所述加强件(24)与所述支承元件(28)关联，所述调节系统(30)包括在所述支承元件(28)上起推压作用的第一调节螺钉(31)及对所述支承元件(28)起牵拉作用而在所述加强件(24)上产生推压作用的第二调节螺钉(32)，所述第一调节螺钉(31)和所述第二调节螺钉(32)分布在所述支承元件(28)的平面上，所述调节系统(30)能够相对所述加强件(24)向所述支承元件(28)施加推和/或拉所述支承元件(28)的局部力，所述中间支承件(26)以这样一种方式与所述支承元件(28)连接，即，所述局部力被传递至所述中间支承件(26)，从而实现所述中间支承件(26)的局部微观校正。