[发明专利]用于材料结晶的混合坩埚在审
| 申请号： | 201580012185.0 | 申请日： | 2015-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN106133207A | 公开（公告）日： | 2016-11-16 |
| 发明（设计）人： | 亨利克·弗朗茨;克里斯多夫·莫舍;安德里亚·兹梅尔曼;阿米·文歌特;凯·穆勒;迈克尔·霍曼 | 申请（专利权）人： | ALD真空技术股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京万慧达知识产权代理有限公司 11111 | 代理人： | 王蕊;李轶 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及包括框架和底板的混合坩埚。所述坩埚的特征为：选择用于两个部件的热导率被优化的材料。所述坩埚适于制造结晶材料。此外，还公开了制造结晶材料的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 材料 结晶 混合 坩埚 | ||
【主权项】：
用于材料结晶的混合坩埚，其包括底板和框架，其特征在于，所述底板和所述框架由不同材料制成，所述底板的热导率大于所述框架的热导率，且所述框架设置在所述底板上。
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