[发明专利]具有垂直磁各向异性的MTJ结构在审
| 申请号： | 201580012712.8 | 申请日： | 2015-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN106463609A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 洪镇杓;李*傧 | 申请（专利权）人： | 汉阳大学校产学协力团 |
| 主分类号： | H01L43/02 | 分类号： | H01L43/02 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人： | 张海涛;于辉 |
| 地址： | 暂无信息 | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种具有垂直磁各向异性(PMA)的磁隧道结(MTJ)结构。所述MJT结构包括含有钨基物质的籽晶层，位于所述籽晶层上的包含硼基铁磁材料且具有PMA的第一铁磁层，位于所述第一铁磁层上的隧穿势垒层，以及位于所述隧穿势垒层上且具有PMA的第二铁磁层，其中籽晶层的厚度为1nm‑10nm。相应地，通过使用钨基物质为种子物质，可提供所述MTJ结构，其中即使在350℃‑400℃的高温下可保持其第一铁磁层的结晶性，避免了PMA减少的问题，且因此改善了热稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 垂直 各向异性 mtj 结构 | ||
【主权项】：
一种具有垂直磁各向异性(PMA)的磁隧道结(MTJ)结构，其包括：籽晶层，其含有钨基材料；第一铁磁层，其位于所述籽晶层上，所述第一铁磁层包含硼基铁磁材料且具有PMA；隧穿势垒层，其位于所述第一铁磁层上；以及第二铁磁层，其位于所述隧穿势垒层上且具有PMA，其中所述籽晶层的厚度为1nm‑10nm。
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