[发明专利]使用光诱导镀和正向偏压镀二者的太阳能电池基板电镀装置

摘要

本发明涉及一种使用作为要被电镀的对象的单面光接收型太阳能电池基板或双面光接收型太阳能电池基板的光诱导镀和正向偏压镀二者的太阳能电池基板电镀装置，并且提供了一种使用光诱导镀和正向偏压镀二者的太阳能电池基板电镀装置，该太阳能电池基板电镀装置包括电镀槽，其容纳电镀液；多个辊单元，其以预定间隔分开布置以在所述基板的一个表面被浸入所述电镀液中的状态下水平移动所述基板；第一电镀单元，其被布置在所述辊单元之间，并且通过在所述电镀液中在密封状态下向所述基板发射光来执行光诱导镀；以及第二电镀单元，其被浸入所述电镀液中以便经由布置在所述第一电镀单元的底部的阳极构件对所述太阳能电池基板执行所述正向偏压镀。

主权项

一种太阳能电池基板电镀装置，该太阳能电池基板电镀装置在作为要被电镀的对象的太阳能电池基板上将光诱导镀与正向偏压镀结合，所述太阳能电池基板电镀装置包括：电镀槽，所述电镀槽容纳电镀液；多个辊单元，所述多个辊单元彼此间隔开预定间隔以在所述太阳能电池基板的一个表面被浸入所述电镀液中的状态下水平移动所述太阳能电池基板；第一电镀单元，所述第一电镀单元被设置在所述多个辊单元之间以在所述第一电镀单元在所述电镀液中被密封的状态下向所述太阳能电池基板照射光，从而执行所述光诱导镀；以及第二电镀单元，所述第二电镀单元经由被浸入所述电镀液中并被设置在所述第一电镀单元下方的阳极构件对所述太阳能电池基板执行所述正向偏压镀，其中，所述电镀槽被分为浸渍区域和非浸渍区域，在所述浸渍区域中，所述辊单元和所述阳极构件被浸入所述电镀液中，并且所述太阳能电池基板电镀装置还包括高度调节板，所述高度调节板被设置在所述浸渍区域与所述非浸渍区域之间的边界上以调节所述浸渍区域中的所述电镀液的高度。