[发明专利]用于补偿射束的不规则性的可调整可变形反射镜

摘要

本发明涉及一种用于补偿射束的不规则性的可调整可变形反射镜(1)，该反射镜带有用于反射该射束的入射线的反射镜元件、用于固定该反射镜元件的基体以及用于向该反射镜元件施加力(F)的至少一个致动元件(4)，其中该反射镜元件是带有至少1mm厚度(d)的平面元件(2)并且该致动元件(4)是带有多个杠杆元件(5)的杠杆机构。本发明还涉及一种用于补偿射束(12.1，12.2)的不规则性的方法以及带有根据本发明的反射镜(1)的光学安排。

主权项

1.一种用于补偿沿着光学路径(13)传播的电磁辐射束(12.1，12.2)的像差的可调整可变形反射镜(1)，具有‑用于反射该射束(12.1)的入射线的反射镜元件，‑用于固持该反射镜元件的主体(3)以及‑用于将力(F)引入该反射镜元件中的至少一个致动元件(4)，其中‑该反射镜元件是具有两个互相平行的侧面(2.1，2.2)的平面元件(2)，其中第一侧面(2.1)面朝该光学路径(13)并且第二侧面(2.2)面朝该主体(3)，‑该平面元件(2)在这些平行侧面(2.1，2.2)之间具有至少1mm的厚度(d)，‑该致动元件(4)具有带有多个杠杆元件(5)的杠杆机构，这些杠杆元件具有第一杠杆臂(5.1)和第二杠杆臂(5.2)，其中该第一杠杆臂(5.1)是沿着第一进给路径(6.1)可移动的，并且该第二杠杆臂(5.2)是沿着第二进给路径(6.2)可移动的，并且其杠杆臂比率被配置成使得该第二进给路径(6.2)的长度最多为该第一进给路径(6.1)的长度的五分之一，并且力(F)是可通过该第二杠杆臂(5.2)来传递至该平面元件(2)的，其特征在于，该致动元件(4)是挠性铰链，该挠性铰链是单件式地且相对于该致动元件(4)的对称轴线镜面对称地构成的并且除了该第一和第二杠杆臂(5.1，5.2)之外还具有居中安排的抗扭曲块(17)、用于将该力(F)引入该致动元件(4)中的弹性可变形元件(16)、以及用于将该力(F)引入该平面元件(2)中的可弯曲传输元件(15)，并且在该抗扭曲块(17)中存在补偿块(21)，该补偿块是通过多个槽缝与该抗扭曲块(17)几乎完全分开的并且仅经由窄的连接腹板连接至该抗扭曲块(17)上，由此该补偿块(21)是在该连接腹板的区域中围绕第四旋转轴线(A4)可枢转的。