[发明专利]抽吸头及片材处理装置有效
| 申请号： | 201580013467.2 | 申请日： | 2015-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN106103025B | 公开（公告）日： | 2018-03-23 |
| 发明（设计）人： | 白井茂生;出水康仁;田畑和宽;正井裕士 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | B28B13/04 | 分类号： | B28B13/04;H01G13/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 周全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够抑制抽吸引起的片材损坏并将陶瓷生片可靠且容易地从载体膜剥离的抽吸头及片材处理装置。具有用于保持陶瓷生片(20)的抽吸面的抽吸头(14)，其中抽吸面具有多个抽吸孔(HL、HL…)及多个凹槽(GR、GR…)；多个凹槽(GR、GR…)在抽吸面内的端部区域的至少一边以沿抽吸面的外周的方向而被设置；多个抽吸孔(HL、HL…)中配置于抽吸面内的端部区域的抽吸孔(HL)被设置成穿过凹槽(GR)。 | ||
| 搜索关键词： | 抽吸 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种抽吸头，具有用于保持陶瓷生片的抽吸面，其特征在于，所述抽吸面具有多个抽吸孔及多个凹槽；所述多个凹槽在所述抽吸面内的端部区域的至少一边以沿所述抽吸面的外周的方向而被设置；所述多个抽吸孔中配置于所述抽吸面内的端部区域的抽吸孔被设置成穿过所述凹槽，所述多个凹槽中设置于所述抽吸面的最外周的凹槽被设置在比所述多个抽吸孔中配置于最外侧的最外抽吸孔更外侧，且被设置成与所述最外抽吸孔的外周相接触。
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