[发明专利]使用双面电容传感元件的双输出差分压力传感器有效
| 申请号： | 201580013506.9 | 申请日： | 2015-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN106304844B | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | W.D.康韦尔;M.L.厄本;M.A.纳萨尔 | 申请（专利权）人： | 森萨塔科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01L13/02;G01L15/00;F02D41/00;F02M26/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 葛青 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的实施例的差分电容压力传感器具有位于单个基底的相反面上的第一和第二隔膜。压力转换器的每个隔膜配置为暴露于瞬态流体中，第一和第二压力转换器布置为以它们各自的偏转表面彼此向外指向。差分电容压力传感器可以配置为输出瞬态流体压力的差分和共模表达，其中在产生差分压力表达时共模表达被去除。瞬态流体可以是在流动通道内不同位置处的相同流体。隔膜可以由陶瓷材料构成，能够承受暴露于腐蚀性或苛性流体中。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 双面 电容 传感 元件 输出 分压力 传感器 | ||
【主权项】：
一种差分压力转换器，包括：具有第一偏转表面的第一压力转换器，所述第一压力转换器与第一基底集成；具有第二偏转表面的第二压力转换器，所述第二压力转换器与第二基底集成；并且所述第一压力转换器配置为暴露于第一瞬态流体，所述第二压力转换器配置为暴露于第二瞬态流体，所述第一和第二压力转换器布置为以各自偏转表面彼此向外指向，并且其布置在内的距离范围使得，当一起观察所述偏转表面时，在产生所述第一和第二瞬态流体的差分压力测量的表达中能够消除所述第一和第二瞬态流体的共模压力表达。
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