[发明专利]用于机电电容式传感器的集成自测试在审
| 申请号： | 201580013686.0 | 申请日： | 2015-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN106105264A | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | J.M.穆扎 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R29/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 申屠伟进;杜荔南 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 一种自测试机电电容式传感器系统。系统包括机电电容式传感器和控制器。控制器被配置成接收用来激活测试模式的信号，并且当接收用来激活测试模式的信号时：（a）向机电电容式传感器施加偏置电压阶跃，（b）测量作为时间的函数的机电电容式传感器的振膜针对偏置电压的对应偏移，并且针对偏置电压的多个量值重复步骤（a）和（b）以确定机电电容式传感器的至少一个性能参数。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 机电 电容 传感器 集成 测试 | ||
【主权项】：
一种自测试机电电容式传感器系统，系统包括：机电电容式传感器；控制器，其被配置成接收用来激活测试模式的信号，并且当接收用来激活测试模式的信号时其中（a）向机电电容式传感器施加偏置电压阶跃，（b）测量作为时间的函数的机电电容式传感器的振膜针对偏置电压阶跃的对应偏移，并且针对偏置电压的多个量值重复步骤（a）和（b）以确定机电电容式传感器的至少一个性能参数。
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