[发明专利]用于生产中的MEMS扩音器的所有电噪声测试的系统和方法有效
| 申请号： | 201580013688.X | 申请日： | 2015-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN106068654B | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | J.M.穆扎 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | H04R29/00 | 分类号： | H04R29/00 |
| 代理公司： | 72001 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 孙鹏;杜荔南 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 公开了用于多薄膜微机电系统（MEMS）扩音器中的噪声的电测试的系统和方法。该MEMS系统具有测试模式，其包括将扩音器的MEMS偏置网络置于重置模式中，调整用于第一MEMS传感器的第一偏压，使得极性与第二MEMS传感器的偏压的极性匹配。然后将MEMS偏置网络置于感测模式中，并且通过系统的前置放大器的输出的测量而针对MEMS扩音器系统获得总噪声值。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 生产 中的 mems 扩音器 所有 噪声 测试 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统（MEMS）扩音器系统，该系统包括：/nMEMS扩音器，其包括第一和第二MEMS传感器、第一和第二MEMS偏置网络、差分前置放大器；以及/n处理器，其中所述处理器连接到第一MEMS传感器和第二MEMS传感器的第一端子以及连接到所述第一和第二MEMS偏置网络，并且第一MEMS传感器和第二MEMS传感器的第二端子分别连接到第一MEMS偏置网络和第二MEMS偏置网络，以及所述第一MEMS传感器和第二MEMS传感器的第二端子连接到差分前置放大器，其中所述处理器被配置成/n在接收信号时激活测试模式，该测试模式包括/n将所述第一和第二MEMS偏置网络置于重置模式中，/n调整用于第一MEMS传感器的第一偏压，使得第一偏压的第一极性与第二MEMS传感器的第二偏压的第二极性匹配，/n等待沉降时间，/n将所述第一和第二MEMS偏置网络置于感测模式中，/n获得用于MEMS扩音器系统的总噪声值，以及/n在接收第二信号时退出测试模式。/n
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