[发明专利]用于超高纯度(UHP)二氧化碳纯化的系统和方法有效
申请号: | 201580013873.9 | 申请日: | 2015-03-05 |
公开(公告)号: | CN106103342B | 公开(公告)日: | 2018-01-23 |
发明(设计)人: | 马尔科·苏奇;克里斯蒂安·兰多尼;萨拉·福格特;查尔斯·H·阿普尔加思 | 申请(专利权)人: | 工程吸气公司 |
主分类号: | C01B32/50 | 分类号: | C01B32/50;B01D53/02;B01D53/86 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 蔡胜有,苏虹 |
地址: | 意大*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明在第一方面涉及超高纯度(UHP)二氧化碳纯化系统(20)以及在第二方面涉及UHP二氧化碳纯化方法。本发明利用负载型镍氧化物(23)和负载型钯氧化物(24),其中所述纯化系统(20)的上部(211)至少部分地填充有负载型镍氧化物(23),并且其下部(212)至少部分地填充有负载型钯氧化物(24),并且其中所述纯化系统(20)的上部和下部(211,212)物理分离但流体连通。 | ||
搜索关键词: | 用于 超高 纯度 uhp 二氧化碳 纯化 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种超高纯度(UHP)二氧化碳纯化系统(10;20),其具有入口(16;261)和出口(17;272),其特征在于,所述纯化系统的靠近所述入口(16;261)的上部至少部分地填充有负载型镍氧化物,并且所述纯化系统的靠近所述出口(17;272)的下部至少部分地填充有负载型钯氧化物,其中所述纯化系统的所述上部和所述下部物理分离但流体连通。
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