[发明专利]制备粒状多晶硅的反应器及方法有效
| 申请号： | 201580013982.0 | 申请日： | 2015-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN106132530B | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | D·韦克塞尔 | 申请（专利权）人： | 瓦克化学股份公司 |
| 主分类号： | B01J8/18 | 分类号： | B01J8/18;B01J8/42;C01B33/03 |
| 代理公司： | 72002 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 过晓东 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明公开了一种通过在硅种颗粒上沉积多晶硅来制备粒状多晶硅的反应器，其包括反应容器，包括粒状多晶硅及位于反应容器内的反应器底部的流化床的内反应管，用于加热内反应管中的流化床的加热装置，至少一个用于导入流化气体的底部气体喷嘴，以及至少一个用于导入反应气体的反应气体喷嘴，用于导入硅种颗粒的供料装置，且还包括用于粒状多晶硅的排除管线以及用于将反应器废气从反应容器中排出的装置，其中在圆柱形部件的圆柱形表面设有开口，圆柱形表面上至少5％且不超过95％为开口，位于内反应管及加热装置之间。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 粒状 多晶 反应器 方法 | ||
【主权项】：
1.一种通过在硅种颗粒上沉积多晶硅来制备粒状多晶硅的反应器，其包括反应容器，用于包括粒状多晶硅的流化床及位于反应容器内的反应器底部的内反应管，用于加热内反应管中的流化床的加热装置，至少一个用于导入流化气体的底部气体喷嘴，以及至少一个用于导入反应气体的反应气体喷嘴，用于导入硅种颗粒的供料装置，且还包括用于粒状多晶硅的排出管线以及用于从反应容器中排放反应器废气的装置，其特征在于：在内反应管及加热装置之间设有圆柱形部件，该圆柱形部件在其圆柱形表面上有开口，该圆柱形表面上至少5％且不超过95％为开口，所述部件由一种导热材料组成，从而热能通过热辐射和热传导转移到所述部件上，且使后者能发热，或所述部件由所述加热装置发出的辐射能可渗透的材料组成。/n
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