[发明专利]阀杆在审
| 申请号： | 201580014298.4 | 申请日： | 2015-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN106062942A | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | F.埃尔内;C.巴奇曼恩;M.内特泽;M.沃扎塞克 | 申请（专利权）人： | VAT控股公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 梁冰;宣力伟 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 用于真空阀的阀杆（12），该阀杆带有用于真空阀的闭锁器件（5）的第一连接区域（40）并且带有至少一个用于真空阀的阀驱动装置的第二连接区域（41），其中，阀杆（12）至少以区段的方式具有带有至少250千兆帕斯卡、优选地至少350千兆帕斯卡的弹性模量的材料（42）。 | ||
| 搜索关键词： | 阀杆 | ||
【主权项】：
用于真空阀的阀杆（12），该阀杆带有用于真空阀的闭锁器件（5）的第一连接区域（40）和带有至少一个用于真空阀的阀驱动装置的第二连接区域（41），其特征在于，阀杆（12）至少以区段的方式具有带有至少250千兆帕斯卡、优选地至少350千兆帕斯卡的弹性模量的材料（42）。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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