[发明专利]树脂涂布装置及树脂涂布完成的构件的制造方法

摘要

本发明提供一种能使构件与涂布头之间的距离设成较大的树脂涂布装置及树脂涂布完成的构件的制造方法。树脂涂布装置(1)具备载置要涂布树脂(13)的构件的载置台(12)；对载置于载置台(12)的构件(11)吐出树脂(13)的涂布头(14)；使涂布头(14)相对于载置台(12)相对性移动的移动装置(15)；以及对载置台(12)与涂布头(14)之间施加电压的电源装置(17)。树脂涂布完成的构件的制造方法，将构件(11)载置于载置台(12)，并将涂布头(14)配置于构件(11)的上方，维持对载置台(12)与涂布头(14)之间施加电压的状态，且在从涂布头(14)吐出树脂(13)的狀態下使涂布头(14)往沿着载置面(12f)的方向相对于载置台(11)相对性移动，从而进行对构件(11)涂布树脂(13)。

主权项

一种树脂涂布装置，具备：载置台，具有载置要涂布树脂的构件的载置面；涂布头，对载置于所述载置台的所述构件吐出所述树脂；移动装置，其使所述涂布头往沿着所述载置面的方向，相对于所述载置台相对性移动；电源装置，其对所述载置台与所述涂布头之间施加电压；间隙检测部，其检测在所述涂布头所形成的所述树脂的吐出口与在所述载置台所载置的所述构件之间的距离；电压调节部，其调节借由所述电源装置而对所述载置台与所述涂布头之间所施加的电压的值；以及第一控制装置，其按照借由所述间隙检测部所检测到的距离而设定借由所述电压调节部所调节的电压值。