[发明专利]用于激光加工表面的加工装置和方法

摘要

本发明涉及一种用于激光加工表面的加工装置。通过所述加工装置，激光束可以绕光轴以圆周和平行方式移动，并且通过旋转单元，移动的激光束可以通过发散单元被扇开成多个分光束。而多个分光束中的每一个可以被聚焦，某些分光束可以从已有的总光束中被移除，分光束彼此之间的角度可以被减小，剩余的分光束可以以依赖于时间的方式偏转，并且剩余的分光束可各自被聚焦。

主权项

1.一种用于表面激光加工的加工装置，其特征在于，包括：激光束入口，在此处激光束能够在光轴上沿辐射方向进行辐射；旋转单元，所述旋转单元布置在所述激光束入口后面的辐射方向上；借助于所述旋转单元，所述激光束能够在相对于所述光轴的偏移方向以一定间距被平行偏置，其中所述偏移方向是围绕所述光轴旋转；至少一个发散单元，所述发散单元布置在所述旋转单元后面的辐射方向上，并且通过所述发散单元，所述激光束能够被扇开成多个分光束，所述分光束在径向于所述光轴的方向上形成连续或不连续的强度分布，其中所述多个分光束代表一束总光束；第一模块，所述第一模块布置在所述发散单元后面的辐射方向上，并且通过所述第一模块，所述分光束分别被聚焦；选择单元，所述选择单元布置在所述第一模块后面的辐射方向上，并且通过所述选择单元，所述分光束的一部分能够从所述总光束中移除；第二模块，所述第二模块布置在所述第一模块后面的辐射方向上，并且通过所述第二模块，所述分光束的射线角度分别被调制成相互之间更小；偏转单元，所述偏转单元布置在所述第二模块后面的辐射方向上，并且通过所述偏转单元，所述分光束能够以时间函数方式进行偏转；以及聚焦单元，所述聚焦单元布置在所述第二模块后面的辐射方向上，并且通过所述聚焦单元，所述总光束的剩余分光束分别被聚焦。