[发明专利]借助振动体传感器确定蒸气浓度的设备和方法有效
| 申请号： | 201580015035.5 | 申请日： | 2015-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN106133516B | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | B.I.贝卡德;C.克里默;K-H.特林本;M.朗;A.艾克勒;N.艾哈迈德 | 申请（专利权）人： | 艾克斯特朗欧洲公司 |
| 主分类号： | G01N29/02 | 分类号： | G01N29/02;G01N29/036;G01N29/32;G01N30/76 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 侯宇 |
| 地址： | 德国黑*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种设备和方法，用于确定体积空间(2)内的蒸气的浓度或分压、尤其确定或调控由运载气输送经过体积空间(2)的蒸气的质量流量，其中，体积空间(2)借助加热器(8)能被加热到蒸气的冷凝温度之上，具有传感器(1)，提供取决于蒸气浓度或蒸气分压的传感器信号。为了在这种设备或方法、尤其用于沉积OLED层的方法中提供用于确定蒸气浓度的传感器，其传感器信号不受运载气影响或至少略受运载气影响，在此规定，传感器(1)具有置于振荡中的振动体，其振荡频率受到在振动体的表面上由冷凝的蒸气形成的物质累积的影响，其中，振动体具有温度控制装置，借此能够使振动体处在蒸气的冷凝温度之下的温度，其中，分析装置根据振荡频率的随时间的变化得出浓度或分压。 | ||
| 搜索关键词： | 借助 振动 传感器 确定 蒸气 浓度 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种设备，用于确定体积空间(2)内的蒸气的浓度或分压、尤其用于确定或调控由运载气输送经过体积空间(2)的蒸气的质量流量，其中，所述体积空间(2)借助加热器(8)能够被加热到蒸气的冷凝温度之上的温度，所述设备具有传感器(1)，所述传感器(1)提供取决于蒸气浓度或蒸气分压的传感器信号，其特征在于，所述传感器(1)具有能够置于振荡中的振动体(17)，其振荡频率受到在振动体(17)的表面(18)上由冷凝的蒸气形成的物质累积的影响，其中，所述振动体(17)具有温度控制装置(19、20)，通过所述温度控制装置(19、20)能够使所述振动体(17)处在蒸气的冷凝温度之下的温度，其中，分析装置根据振荡频率的随时间的变化得出所述浓度或分压。
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