[发明专利]热式质量流量计和使用该热式质量流量计的质量流量控制装置

摘要

【课题】本发明提供一种热式质量流量计和使用该热式质量流量计的质量流量控制装置，该热式质量流量计即使是在应对需要加热到250℃的凝结性的气体的情况下，气体也不会在传感器管的内部再次液化或凝结。【解决手段】一种热式质量流量计，其具有壳体，该壳体与基座的设置面接触地设置，用于收容传感器管和传感器线，其中，设置有与基座的设置面以及壳体的侧面分别面接触的作为热的良导体的传热模块。在优选的实施方式中，还设置有与基座的侧面接触地设置的温度调节模块。

主权项

1.一种热式质量流量计，其具有：基座，其具有一个设置面，在其内部设有流体的流路；旁路，其设于所述流路的中间；流量传感器，其具备：传感器管，其在所述旁路的上游侧从所述流路分支，在绕过所述设置面的外侧后在所述旁路的下游侧与所述流路合流；一对传感器线，其卷绕于所述传感器管；以及壳体，其与所述基座的设置面接触地设置，用于收容所述传感器管和所述传感器线；以及传感器电路，其包括由所述传感器线以及其他电阻元件构成的桥式电路，其中，该热式质量流量计还具有传热模块，该传热模块与所述基座的设置面接触，设置于与所述壳体相邻的位置，由传热材料形成，所述传热模块的底面与所述基座的设置面面接触，所述传热模块的至少一个侧面与所述壳体的侧面面接触。