[发明专利]通过机械加工激光切割玻璃来进行边缘斜切

摘要

本申请涉及通过机械加工激光切割玻璃来进行边缘斜切。具体来说，一种对工件进行加工的方法，其包括以下步骤：(i)将脉冲激光束聚焦成激光束焦线；(ii)将激光束焦线以第一入射角导向到工件中，在工件内产生沿着激光束焦线的缺陷线；(iii)使得工件和激光束相对于彼此位移，从而用激光产生沿着工件内呈该第一角度的第一平面的多条缺陷线；(iv)沿着该平面分离工件，以产生具有至少一个切割表面的经激光切割的工件；以及(v)通过用抛光轮对经激光切割工件的切割表面进行抛光。

主权项

1.一种对工件进行加工的方法，该方法包括以下步骤：(i)将脉冲激光束聚焦成激光束焦线，这是沿着束传播方向观察的；(ii)将所述激光束焦线以相对于所述工件成第一入射角导向到所述工件中，该第一角度与所述工件的边缘相交，所述激光束焦线在所述工件内产生感应吸收，所述感应吸收沿着所述激光束焦线在所述工件内产生缺陷线；(iii)使得所述工件和所述激光束相对于彼此位移，从而沿着所述工件内呈该第一角度的第一平面激光钻孔多条缺陷线，每条所述缺陷线具有不超过5μm的直径；其中，形成所述焦线的激光束的波长使得工件材料对于所述波长是基本透明的；以及(iv)沿着所述平面分离所述工件，以产生具有至少一个切割表面的经激光切割的工件；以及(v)通过用抛光轮对经激光切割工件的切割表面进行抛光，来加工所述工件，其中所述抛光轮的本体弹性模量为0.1‑5GPa。