[发明专利]非球面的偏心量测定方法以及形状解析方法有效
申请号: | 201580015762.1 | 申请日: | 2015-03-13 |
公开(公告)号: | CN106104247B | 公开(公告)日: | 2018-07-20 |
发明(设计)人: | 上平真嘉;桥本隆志;泷谷俊哉;泷昇 | 申请(专利权)人: | 柯尼卡美能达株式会社 |
主分类号: | G01M11/00 | 分类号: | G01M11/00 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 黄永杰 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 在具有非球面的光学元件中,在非球面部的周围形成有由平面构成的平面部,所述非球面部由与参考球面的偏差为10μm以下的非球面构成。测定平面部的平面形状,根据由该测定而得到的平面形状信息和形成平面部时使用的已知的平面形状信息,算出平面的倾斜量。将平面的倾斜量作为非球面的倾斜量,算出非球面的轴偏移量,并算出非球面形状误差量。 | ||
搜索关键词: | 球面 偏心 测定 方法 以及 形状 解析 | ||
【主权项】:
1.一种偏心量测定方法,是与参考球面的偏差为10μm以下的非球面的偏心量测定方法,其特征在于,在具有所述非球面的光学元件中,在由所述非球面构成的非球面部的周围形成有由平面构成的平面部,测定所述平面部的平面形状,根据由该测定而得到的平面形状信息和形成所述平面部时使用的已知的平面形状信息,算出所述平面的倾斜量,将所述平面的倾斜量作为所述非球面的倾斜量,算出所述非球面的轴偏移量。
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