[发明专利]微型皮氏真空计有效
| 申请号： | 201580015799.4 | 申请日： | 2015-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN106104245B | 公开（公告）日： | 2019-11-08 |
| 发明（设计）人： | 顾磊;S·F·巴尔特;O·文策尔 | 申请（专利权）人： | MKS仪器公司 |
| 主分类号： | G01L21/12 | 分类号： | G01L21/12 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 李隆涛 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述了使用低热导率支撑元件的微型皮氏真空计。微型皮氏计或真空传感器可包括：加热元件，所述加热元件可操作以加热气体并产生对应于所述气体的压力的信号；平台，所述平台构造成接收加热元件，所述平台具有第一热导率系数；以及支撑元件，所述支撑元件连接至基板且构造成将带有所述加热元件的所述平台支撑于所述基板中设置的孔口中，所述支撑元件具有第二热导率系数，其中，第二热导率系数小于第一热导率系数。还描述了包括微型皮氏计的多模压力感测。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 真空计 | ||
【主权项】：
1.一种微型皮氏真空传感器，其包括：加热元件，所述加热元件能够操作以加热气体且产生对应于所述气体的压力的信号；高导热率平台，所述平台构造成接收所述加热元件，其中，所述平台具有第一热导率系数；和低导热率支撑元件，所述支撑元件连接至基板且构造成将带有所述加热元件的所述平台支撑于所述基板中设置的孔口中，其中，所述支撑元件具有第二热导率系数，并且其中，所述第二热导率系数小于所述第一热导率系数。
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