[发明专利]基板运输设备有效
| 申请号： | 201580017265.5 | 申请日： | 2015-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN106463438B | 公开（公告）日： | 2019-09-10 |
| 发明（设计）人： | R.T.卡韦尼;U.吉尔克里斯特 | 申请（专利权）人： | 布鲁克斯自动化公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 孟璞;胡斌 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供了一种基板运输设备，包括：框架；上臂，所述上臂绕肩轴线旋转安装至所述框架；前臂，所述前臂绕肘轴线旋转安装至所述上臂，其中，所述前臂包括通过公共关节依赖于所述上臂的堆叠式前臂部；以及独立堆叠式末端效应器，所述独立堆叠式末端效应器旋转安装至所述前臂，所述前臂对所述独立堆叠式末端效应器是公共的，其中，至少一个末端效应器在腕轴线处安装至所述堆叠式前臂部，其中，所述前臂配置为将在安装至所述堆叠式前臂部的所述独立堆叠式末端效应器之间的间隔与在末端效应器之间的高度积聚解除联接，从而容纳通过的器械。 | ||
| 搜索关键词： | 运输设备 | ||
【主权项】：
1.一种基板运输设备，包括：框架；上臂，所述上臂绕肩轴线旋转安装至所述框架；前臂，所述前臂绕肘轴线旋转安装至所述上臂，其中，所述前臂包括通过公共关节依赖于所述上臂的堆叠式前臂部；以及独立堆叠式末端效应器，所述独立堆叠式末端效应器旋转安装至所述前臂，所述前臂对所述独立堆叠式末端效应器是公共的，其中，至少一个末端效应器在腕轴线处安装至所述堆叠式前臂部；其中，所述前臂配置为将安装至所述堆叠式前臂部的所述独立堆叠式末端效应器之间的间隔与在末端效应器之间的高度积聚解除联接，从而容纳通过的器械。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
