[发明专利]放射线敏感性树脂组合物、树脂膜、和电子部件有效
| 申请号： | 201580017449.1 | 申请日： | 2015-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN106164773B | 公开（公告）日： | 2019-11-01 |
| 发明（设计）人： | 新藤宽明 | 申请（专利权）人： | 日本瑞翁株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;C08J5/18;C08K5/3475;C08K5/3492;C08L63/00;C08L101/00;G03F7/023 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 赵曦;刘继富 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明提供放射线敏感性树脂组合物，其含有粘结剂树脂(A)、放射线敏感性化合物(B)、和由下述通式(1)表示的交联剂(C)，相对于上述粘结剂树脂(A)100重量份，上述交联剂(C)的含量为3～25重量份。 |
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| 搜索关键词： | 放射线 敏感性 树脂 组合 电子 部件 | ||
【主权项】：
1.一种放射线敏感性树脂组合物，含有粘结剂树脂(A)、光致产酸剂(B)、和由下述通式(1)表示的交联剂(C)，所述粘结剂树脂(A)为具有质子性极性基团的环状烯烃聚合物(A1)、丙烯酸树脂(A2)、卡多树脂(A3)、聚硅氧烷(A4)和聚酰亚胺(A5)中的一种以上，相对于所述粘结剂树脂(A)100重量份，所述交联剂(C)的含量为5～25重量份，![]()
上述通式(1)中，R1～R3各自独立地为碳原子数为1～10的烃基。
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