[发明专利]检查系统和检查方法有效
| 申请号： | 201580017606.9 | 申请日： | 2015-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN106461568B | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 栗原徹;安藤繁 | 申请（专利权）人： | 国立大学法人东京大学;高知县公立大学法人 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 李辉;黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 实施方式的检查系统具有：面方式的照明部，其赋予光强度的周期性的时间变化和空间变化；时间相关图像生成部，其通过时间相关照相机或进行与其等效的动作的摄像系统生成时间相关图像；以及运算处理部，其根据时间相关图像计算与检查对象面的法线向量的分布对应的特征，该特征是通过与周围的不同和与参照表面的不同中的至少一方来检测异常的特征。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种检查系统，其具有：时间相关图像生成部，其通过对如下的参照信号和来自检查对象面的反射光的强度信息进行相乘的时间相关照相机或进行与所述时间相关照相机等效的动作的摄像系统来生成时间相关图像，其中，所述参照信号与光强度的时间变化对应地周期性地变化，所述光强度的时间变化基于与赋予给所述检查对象面上的光强度的时间迁移对应的空间上的变化而发生变化；面方式的照明部，其通过使光在所述检查对象面上与连续的时间迁移对应地在空间上发生变化，对所述检查对象面赋予光强度在所述时间相关照相机或进行与所述时间相关照相机等效的动作的摄像系统的一个曝光时间内的连续且周期性的时间变化以及空间变化；以及运算处理部，其根据所述时间相关图像计算与检查对象面的法线向量的分布对应的特征，该特征是通过与周围的不同和与参照表面的不同中的至少一方来检测异常的特征。
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