[发明专利]反射式编码器在审
申请号: | 201580017733.9 | 申请日: | 2015-03-31 |
公开(公告)号: | CN106471339A | 公开(公告)日: | 2017-03-01 |
发明(设计)人: | 泽田廉士;竹下俊弘;岩崎拓真;石川正纪;冈本千寻;青柳智英 | 申请(专利权)人: | 并木精密宝石株式会社;安达满株式会社;泽田廉士 |
主分类号: | G01D5/347 | 分类号: | G01D5/347;G01D5/38 |
代理公司: | 北京聿宏知识产权代理有限公司11372 | 代理人: | 吴大建,钟日红 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种反射式编码器,其能够利用1束出射光对移动量和移动方向的双方进行检测,通过简单的构造实现较高的可靠性且容易实现小型化。反射式编码器使得从激光振荡器射出的出射光入射至设置于标尺侧的反射式衍射光栅,并利用受光部接受从该反射式衍射光栅射出的衍射光,在该反射式编码器中,将干涉光学系统设置于所述受光部‑反射式衍射光栅之间,从而能够构建出利用1束出射光就能够对所述标尺的移动量和移动方向的双方进行测定的光学系统。 | ||
搜索关键词: | 反射 编码器 | ||
【主权项】:
一种反射式编码器,该反射式编码器具有:激光受光部;以及衍射光栅,其与上述受光部对置配置,伴随着标尺的移动或旋转而相对于该受光部表面平行地移动,该反射式编码器使从另外设置的激光振荡器朝向所述衍射光栅的入射光经由该衍射光栅而向所述受光部射出,其中,在所述受光部‑衍射光栅之间设置有干涉光学系统。
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