[发明专利]质量流量的测定方法、使用该方法的热式质量流量计

摘要

在具备检测流体的温度和压力的传感器以及基于所述温度和压力对质量流量进行校正的校正单元的毛细管加热型热式质量流量计中，预先求出该流体的质量流量相对于温度和压力的变化率，基于所述温度和压力以及这些变化率来对质量流量进行校正。由此，即使想要测定质量流量的流体的温度和/或压力发生变化也能够准确且简便地测定质量流量。

主权项

1.一种质量流量的测定方法，用于在具备输出与流体的质量流量对应的输出信号的流量传感器的毛细管加热型热式质量流量计中，基于所述输出信号的强度即实测信号强度S来计算所述流体的实测质量流量F_m，/n所述质量流量计具备：/n温度传感器，其检测所述流体的温度T；/n压力传感器，其检测所述流体的压力P；以及/n校正单元，其基于所述温度T和所述压力P对所述实测质量流量F_m进行校正来计算校正质量流量F_c，/n其中，所述校正单元所具备的数据存储装置预先保存有：/n温度系数α，其为所述流体的所述实测质量流量F_m相对于温度的偏微分系数；/n压力系数β，其为所述流体的所述实测质量流量F_m相对于压力的偏微分系数；/n压力系数α′，其为所述温度系数α相对于压力的偏微分系数；以及/n温度系数β′，其为所述压力系数β相对于温度的偏微分系数，/n所述校正单元基于该质量流量计的校正时的温度T₀与所述温度T之间的偏差即温度偏差ΔT、该质量流量计的校正时的压力P₀与所述压力P之间的偏差即压力偏差ΔP、所述温度系数α、所述压力系数β、所述压力系数α′以及所述温度系数β′，通过以下的式(5)对所述实测质量流量F_m进行校正，由此计算所述校正质量流量F_c，/nF_c＝F_m(1+α×(1+α′×ΔP)×ΔT+β×(1+β′×ΔT)×ΔP) (5)，/n所述温度系数α是通过求出如下变化率来确定的常数：在以固定流量使所述流体流过所述质量流量计的状态下一边将所述流体的压力P维持固定一边改变所述流体的温度T时的、通过所述质量流量计测定的实测质量流量Fm相对于温度T的变化率或者所述温度系数α是通过在不同的多个压力P下分别求出改变所述流体的温度T时的通过所述质量流量计测定的实测质量流量Fm相对于温度T的变化率对所得到的多个所述变化率进行平均来确定的常数，/n所述压力系数β是通过求出如下的变化率来确定的常数：在以固定的流量使所述流体流过所述质量流量计的状态下一边将所述流体的温度T维持为固定一边改变所述流体的压力P时的、通过所述质量流量计测定的实测质量流量Fm相对于压力P的变化率或者所述压力系数β是通过在不同的多个温度T下分别求出改变所述流体的压力P时的通过所述质量流量计测定的实测质量流量Fm相对于压力P的变化率对所得到的多个所述变化率进行平均来确定的常数。/n