[发明专利]研磨用组合物在审
| 申请号： | 201580017780.3 | 申请日： | 2015-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN106133106A | 公开（公告）日： | 2016-11-16 |
| 发明（设计）人： | 寺本匡志;中内辰哉;杉田规章;羽场真一;宫本明子 | 申请（专利权）人： | 霓达哈斯股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋融冰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的研磨用组合物含有羟乙基纤维素、水和磨粒，所述羟乙基纤维素的分子量为50万以上且150万以下，被磨粒吸附的羟乙基纤维素的比例为30％以上且90％以下。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 组合 | ||
【主权项】：
一种研磨用组合物，含有羟乙基纤维素、水和磨粒，所述羟乙基纤维素的分子量为50万以上且150万以下，被所述磨粒吸附的羟乙基纤维素的比例为30％以上且90％以下。
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