[发明专利]高频控制单元以及高频处置系统

摘要

高频控制单元具备累计值计算部，该累计值计算部随时间经过计算实测累计值，该实测累计值是所输出的高频电力从输出开始时起的累计值的实测值。所述高频控制单元还具备：目标轨迹设定部，其设定随时间经过示出目标累计值的目标轨迹，该目标累计值是所输出的所述高频电力从所述输出开始时起的所述累计值的目标值；以及控制部，其随时间经过对所述实测累计值与所述目标轨迹进行比较，基于比较结果来随时间经过控制所述高频电力的输出状态。

主权项

1.一种高频处置系统中使用的高频控制单元，具备：高频电力生成部，其生成向处置部供给的高频电力；电力检测部，其随时间经过检测从所述高频电力生成部输出的所述高频电力；累计值计算部，其基于所述电力检测部的检测结果来随时间经过计算实测累计值，该实测累计值是所输出的所述高频电力从输出开始时起的累计值的实测值；目标轨迹设定部，其设定随时间经过示出目标累计值的目标轨迹，该目标累计值是所输出的所述高频电力从所述输出开始时起的所述累计值的目标值；以及控制部，其随时间经过对由所述累计值计算部计算出的所述实测累计值与由所述目标轨迹设定部设定的所述目标轨迹进行比较，基于比较结果来随时间经过控制从所述高频电力生成部输出所述高频电力的输出状态。