[发明专利]在丝状部件周围执行表面处理或产生涂层的方法和设备有效
| 申请号： | 201580017996.X | 申请日： | 2015-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN106416430B | 公开（公告）日： | 2020-03-06 |
| 发明（设计）人： | 奥利维尔·布兰德内特;蒂埃里·莱昂·拉加德;帕特里克·肖凯;大卫·杜戴 | 申请（专利权）人： | H.E.F.公司;卢森堡科学技术院 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 张瑞;郑霞 |
| 地址： | 法国昂德雷*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据本方法：丝状部件连续线性地移动穿过彼此相对地并环绕形成处理室的管布置的磁偶极子；以及微波能被引入到至少两个磁偶极子之间。 | ||
| 搜索关键词： | 丝状 部件 周围 执行 表面 处理 产生 涂层 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种生成由电子回旋共振(ECR)的场中的微波能激发的等离子体以执行在丝状部件(F)周围的表面处理或涂覆的方法，根据所述方法，‑丝状部件(F)被连续线性地移动穿过彼此相对地并环绕构成处理室的管(3)布置的磁偶极子(1)和(2)，‑所述微波能被引入到至少两个磁偶极子(1)和(2)之间。
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