[发明专利]研磨用组合物及研磨方法有效
| 申请号： | 201580018008.3 | 申请日： | 2015-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN106133107B | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 松下隆幸;山崎智基 | 申请（专利权）人： | 霓达杜邦股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;C09G1/02;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋融冰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及研磨用组合物以及使用该研磨用组合物的研磨方法，该研磨用组合物含有水和二氧化硅，所述二氧化硅的BET比表面积为30m |
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| 搜索关键词： | 研磨 组合 方法 | ||
【主权项】：
一种研磨用组合物，含有水和二氧化硅，所述二氧化硅的BET比表面积为30m2/g以上、且NMR比表面积为10m2/g以上。
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