[发明专利]触点间距转换器、电检测装置以及用于制造触点间距转换器的方法

摘要

本发明涉及一种用于检测电试样(7)、尤其是晶片(8)的电检测装置(1)的触点间距转换器(4)，其中，触点间距转换器(4)用于彼此相邻的电触点(16，19)的间距缩小并具有不导电的承载结构(28)，不导电的承载结构具有第一侧面(17)和第二侧面(18)，其中，第一电触点(16)在第一侧面(17)上相对彼此具有触点间距(a)并且第二电触点(19)布置在第二侧面(18)上，这些第二电触点彼此具有相对于第一侧面(17)的第一触点(16)较小的触点间距(b)，其中，借助于贯穿承载结构(28)和/或布置在承载结构(28)上的电连接部(20)将第一触点(16)与第二触点(19)连接。其设置为：不仅承载结构(28)而且电连接部(20)被构造为3D打印构件(27)。本发明还涉及一种电检测装置(1)，以及一种用于制造触点间距转换器(4)的方法。

主权项

1.一种用于检测电试样的电检测装置，其具有触点间距转换器，所述触点间距转换器用于彼此相邻的电触点的间距缩小并具有不导电的承载结构，所述不导电的承载结构具有第一侧面和第二侧面，其中，第一触点布置在所述第一侧面上并且相对彼此具有触点间距，第二触点布置在所述第二侧面上，所述第二触点彼此具有相对于所述第一侧面的第一触点较小的触点间距，其中，借助于贯穿所述承载结构和/或布置在所述承载结构上的电连接部将所述第一触点与所述第二触点连接，并且其具有导体基板(2)，所述导体基板具有接触面(10)，所述接触面直接地或通过电连接构件(3)与所述触点间距转换器(4)的第一触点(16)电连接，/n其特征在于，不仅所述承载结构(28)而且所述电连接部(20)被构造为3D打印构件(27)，并且3D打印的触点间距转换器(4)连带构造了3D打印的导体基板(2)，使得所述导体基板和触点间距转换器组合在一个构件(78)中。/n