[发明专利]微驱动装置和使用其的微型器件有效
| 申请号： | 201580018325.5 | 申请日： | 2015-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN106164741B | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 岩瀬英治;饭野知纱 | 申请（专利权）人： | 学校法人早稻田大学 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;B81B3/00;G02B26/10 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;黄浩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种能够多轴驱动的微驱动装置(1)，其特征在于，具备可动对象部(3)、和枢轴支承上述可动对象部、且仅在1个方向上设置的至少一对的梁(4)，可动对象部(3)通过上述梁(4)以其所具有的一个或多个共振频率共振进行发生扭曲或弯曲，从而在x轴、y轴和z轴方向转动或并行，能够同时避免构造的大型化和构造的复杂化。 | ||
| 搜索关键词： | 驱动 装置 使用 微型 器件 | ||
【主权项】：
1.一种能够多轴驱动的微驱动装置，其特征在于：具备可动对象部、和枢轴支承所述可动对象部、且仅在1个方向上设置的至少一对梁，所述可动对象部，通过所述梁以其所具有的一个或多个共振频率进行共振并发生扭曲或弯曲，从而在x轴、y轴和z轴方向上转动或并行，所述梁由在第一方向上设置且与所述可动对象部连接的第一梁、和在与所述第一梁不同的方向上设置且与微驱动装置的框架连接的第二梁构成。
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