[发明专利]用于清洁对象的装置有效
| 申请号： | 201580018680.2 | 申请日： | 2015-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN106164776B | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | R·范德威尔克;G-W·J·古尔休斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种用于清洁对象(W)的装置，该装置包括：对象支撑件(16)，用于支撑对象；低压室(15)，用于在对象被布置在对象支撑件上时将对象的第一表面暴露于低压；电极(23a，23b)，被布置为在对象被布置在对象支撑件上时与对象的第一表面相邻且与第一表面分离，电极与对象支撑件的与对象的第一表面相邻的表面电连通；以及电源(24a，24b)，被布置为在电极和对象之间施加电压，从而在对象与电极之间生成放电。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 清洁 对象 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于清洁对象的装置，所述装置包括：对象支撑件，用于支撑所述对象；低压室，用于在所述对象被布置在所述对象支撑件上时将所述对象的第一表面暴露于低压；电极，被布置为在所述对象被布置在所述对象支撑件上时与所述对象的第一表面相邻且与所述第一表面分离，所述电极与所述对象支撑件的与所述对象的第一表面相邻的表面电连通；以及电源，被配置为在所述电极和所述对象之间施加电压，从而在所述对象和所述电极之间生成放电，其中所述电极在所述对象支撑件的与所述对象的第一表面相邻的表面上设置有电阻层。
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