[发明专利]旋转机构及具有该旋转机构的薄膜厚度监控器有效
| 申请号： | 201580019561.9 | 申请日： | 2015-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN106662155B | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 小高学;古濑晴邦;前田章弘 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | F16C35/067 | 分类号： | F16C35/067;F16C19/06 |
| 代理公司： | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 11015 | 代理人： | 齐永红 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种旋转机构，包括：电机(2)；接收来自电机(2)的动力并旋转驱动被旋转体(7)的输出轴(3)；以及由外部插入输出轴(3)并支撑该输出轴(3)的滚动轴承(6)，输出轴(3)的前端部设置有旋转体(4)，旋转体(4)通过旋转力传递装置(5)与被旋转体(7)连接的同时，滚动轴承的外圈(61)嵌合在设置于旋转力传递装置(8)中的槽部(51a、51b)内。由此，本发明具有滚动轴承抗疲劳的结构，可以延长使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 机构 具有 薄膜 厚度 监控器 | ||
【主权项】：
1.一种配置在真空室内并旋转驱动被旋转体的旋转机构，其特征在于，包括：电机；接收来自电机的动力并旋转驱动旋转体的输出轴；以及由外部插入输出轴并支撑该输出轴的滚动轴承；其中，在旋转体通过旋转力传递装置与被旋转体连接的同时，滚动轴承的外圈嵌合在设置于旋转力传递装置中的槽部中；所述滚动轴承的内圈由套管部件支撑，所述套管部件留出间隔地套在所述输出轴外。
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