[发明专利]放电检查装置、打线装置以及放电检查方法有效
申请号: | 201580019995.9 | 申请日: | 2015-02-10 |
公开(公告)号: | CN106463423B | 公开(公告)日: | 2019-10-25 |
发明(设计)人: | 笹仓一正;吉野浩章;関根悠超 | 申请(专利权)人: | 株式会社新川 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 杨文娟;臧建明 |
地址: | 日本东京武藏村*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及一种放电检查装置、打线装置以及放电检查方法。放电检查装置(50)是检查对炬电极(48)与金属线(42)之间施加电压而进行放电的打线装置的放电的放电检查装置(50),且包括:电流检测部(53),检测流经金属线(42)的放电电流;计时部(56b),计测自施加电压至检测出放电电流为止的放电检测时间;以及放电判定部(57a),基于放电检测时间而判定放电是否异常。本发明可检测放电异常。 | ||
搜索关键词: | 放电 检查 装置 线装 以及 方法 | ||
【主权项】:
1.一种放电检查装置,检查对电极与金属线之间施加电压而进行放电的打线装置的所述放电,通过在电极与金属线的前端之间产生的放电电压以及放电电流检查所述放电,所述放电检查装置包括:电压检测部,检测对用于进行放电的施加于电极与金属线之间的电压;电流检测部,检测流经所述金属线的放电电流;计时部,计测自施加所述电压至检测出所述放电电流为止的放电检测时间;以及放电判定部,基于所述放电检测时间而判定所述电极与所述金属线的所述前端之间的距离是否超出规定值的规定范围,当所述放电判定部判定所述距离超出所述规定值的规定范围时,将表示放电异常的放电异常信号输出至所述打线装置,以停止所述打线装置的操作。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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