[发明专利]环境场溅射源有效
| 申请号： | 201580020624.2 | 申请日： | 2015-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN106232861B | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | 马修·杰斯卡;罗伯特·M·贝兰;库尔特·约翰·莱斯克III | 申请（专利权）人： | 库尔特J·莱斯克公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京中誉威圣知识产权代理有限公司 11279 | 代理人： | 陈变花;席勇 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明公开了一种溅射阴极，其包括磁铁，该磁铁具有长度为L1的本体，该本体的第一端限定了北极，并且该本体的第二端限定了南极，所述第二端与所述第一端相对。长度为L2的溅射靶材，该溅射靶材环绕该磁铁的本体，但并不环绕该磁铁的端部。 | ||
| 搜索关键词： | 环境 溅射 | ||
【主权项】：
1.一种溅射阴极，包括：磁铁，所述磁铁具有长度为L1的本体，所述本体的第一端限定了北极，并且该本体的第二端限定了南极，所述第二端与所述第一端相对；以及长度为L2的溅射靶材，所述溅射靶材环绕所述磁铁的本体，但并不环绕所述磁铁的端部，其中长度L1和L2沿相同方向延伸。
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