[发明专利]包含钼和铜的多层膜用蚀刻液、蚀刻浓缩液以及蚀刻方法

摘要

在利用1种液体对钼和铜的多层膜进行蚀刻的蚀刻液中，期望在过水中混合有机酸来使用。然而，过水使有机酸氧化分解而生成草酸，因此存在蚀刻液中产生大量草酸铜的析出物的课题。包含钼和铜的多层膜用蚀刻液通过铝离子与草酸结合从而抑制草酸铜的生成，因此，蚀刻液中不会产生析出物，所述包含钼和铜的多层膜用蚀刻液的特征在于，含有过氧化氢、酸性有机酸、胺化合物、过氧化氢分解抑制剂、唑类和包含铝盐的防析出剂。而且，蚀刻后的边缘的截面形状可以形成理想的正锥形状。

主权项

一种包含钼和铜的多层膜用蚀刻液，其特征在于，含有：蚀刻液总量的4.0质量％～5.8质量％的过氧化氢、蚀刻液总量的1质量％～7质量％的酸性有机酸、蚀刻液总量的0.5质量％～2.0质量％的胺化合物、蚀刻液总量的0.5质量％～2.0质量％的过氧化氢分解抑制剂、唑类、和包含铝盐的防析出剂，所述酸性有机酸使用甲酸、乙酸、丙酸、乳酸、乙醇酸、二甘醇酸、丙酮酸、丙二酸、丁酸、羟基丁酸、酒石酸、琥珀酸、苹果酸、马来酸、富马酸、戊酸、戊二酸、衣康酸、己酸、己二酸、柠檬酸、丙烷三羧酸、反式乌头酸、庚酸、辛酸、月桂酸、肉豆蔻酸、棕榈酸、硬脂酸、油酸、亚油酸、亚麻酸、苯甲酸、水杨酸、扁桃酸、邻苯二甲酸、间苯二甲酸、对苯二甲酸、氨基甲酸、丙氨酸、甘氨酸、天冬酰胺、天冬氨酸、肌氨酸、丝氨酸、谷氨酰胺、谷氨酸、4‑氨基丁酸、亚氨基二丁酸、精氨酸、亮氨酸、异亮氨酸、氮川三乙酸中的至少一种，所述胺化合物单独使用下述化合物或组合多种下述化合物来使用：乙二胺、三亚甲基二胺、四亚甲基二胺、1,2‑丙二胺、1,3‑丙二胺、N,N‑二甲基‑1,3‑丙二胺、N,N‑二乙基‑1,3‑丙二胺、1,3‑二氨基丁烷、2,3‑二氨基丁烷、五亚甲基二胺、2,4‑二氨基戊烷、六亚甲基二胺、七亚甲基二胺、八亚甲基二胺、九亚甲基二胺、N‑甲基乙二胺、N,N‑二甲基乙二胺、三甲基乙二胺、N‑乙基乙二胺、N,N‑二乙基乙二胺、三乙基乙二胺、1,2,3‑三氨基丙烷、肼、三(2‑氨基乙基)胺、四(氨基甲基)甲烷、二亚乙基三胺、三亚乙基四胺、四亚乙基五胺、七亚乙基八胺、九亚乙基十胺、二氮杂二环十一碳烯、乙醇胺、N‑甲基乙醇胺、N‑甲基二乙醇胺、N‑乙基乙醇胺、N‑氨基乙基乙醇胺、N‑丙基乙醇胺、N‑丁基乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、1‑氨基‑2‑丙醇、N‑甲基异丙醇胺、N‑乙基异丙醇胺、N‑丙基异丙醇胺、2‑氨基丙烷‑1‑醇、N‑甲基‑2‑氨基‑丙烷‑1‑醇、N‑乙基‑2‑氨基‑丙烷‑1‑醇、1‑氨基丙烷‑3‑醇、N‑甲基‑1‑氨基丙烷‑3‑醇、N‑乙基‑1‑氨基丙烷‑3‑醇、1‑氨基丁烷‑2‑醇、N‑甲基‑1‑氨基丁烷‑2‑醇、N‑乙基‑1‑氨基丁烷‑2‑醇、2‑氨基丁烷‑1‑醇、N‑甲基‑2‑氨基丁烷‑1‑醇、N‑乙基‑2‑氨基丁烷‑1‑醇、3‑氨基丁烷‑1‑醇、N‑甲基‑3‑氨基丁烷‑1‑醇、N‑乙基‑3‑氨基丁烷‑1‑醇、1‑氨基丁烷‑4‑醇、N‑甲基‑1‑氨基丁烷‑4‑醇、N‑乙基‑1‑氨基丁烷‑4‑醇、1‑氨基‑2‑甲基丙烷‑2‑醇、2‑氨基‑2‑甲基丙烷‑1‑醇、1‑氨基戊烷‑4‑醇、2‑氨基‑4‑甲基戊烷‑1‑醇、2‑氨基己烷‑1‑醇、3‑氨基庚烷‑4‑醇、1‑氨基辛烷‑2‑醇、5‑氨基辛烷‑4‑醇、1‑氨基丙烷‑2,3‑二醇、2‑氨基丙烷‑1,3‑二醇、三(羟甲基)氨基甲烷、1,2‑二氨基丙烷‑3‑醇、1,3‑二氨基丙烷‑2‑醇、2‑(2‑氨基乙氧基)乙醇、2‑(2‑氨基乙基氨基)乙醇、或二甘醇胺，所述过氧化氢分解抑制剂包含苯基脲、烯丙基脲、1,3‑二甲基脲、硫脲、苯乙酰胺、苯基乙二醇、1‑丙醇或2‑丙醇中的至少一种，所述唑类包含1H‑苯并三唑、5‑甲基‑1H‑苯并三唑、3‑氨基‑1H‑三唑、1H‑四唑、5‑甲基‑1H‑四唑、5‑苯基‑1H‑四唑、5‑氨基‑1H‑四唑、1H‑咪唑、1H‑苯并咪唑、1,3‑噻唑或4‑甲基噻唑中的至少一种，所述包含铝盐的防析出剂为硫酸铝、硝酸铝、氯化铝、乳酸铝、乙酸铝或碳酸铝中的至少一种。