[发明专利]压电元件、压电元件的制造方法、压电促动器、喷墨头及喷墨打印机有效
申请号: | 201580021126.X | 申请日: | 2015-03-23 |
公开(公告)号: | CN106233480B | 公开(公告)日: | 2019-02-15 |
发明(设计)人: | 江口秀幸 | 申请(专利权)人: | 柯尼卡美能达株式会社 |
主分类号: | H01L41/319 | 分类号: | H01L41/319;B41J2/14;H01L41/047;H01L41/09;H01L41/187 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 岳雪兰;朴渊 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 压电元件(27)在基底层(例如下部电极(24))上具有压电体层(例如压电薄膜(25))。压电体层具有与所述基底层相同的取向特性和与所述基底层不同的取向特性。在所述压电体层的厚度方向上,与所述基底层相同的取向特性偏向所述基底层侧。 | ||
搜索关键词: | 压电 元件 制造 方法 促动 喷墨 喷墨打印机 | ||
【主权项】:
1.一种压电元件,其特征在于,在基底层上形成有压电体层,所述压电体层具有与所述基底层相同的取向特性和与所述基底层不同的取向特性,在所述压电体层的厚度方向上,与所述基底层相同的取向特性偏向所述基底层侧,所述基底层为(111)取向,所述压电体层以钙钛矿相的(100)取向作为主取向,具有(111)取向,所述压电体层隔着用于控制该压电体层的取向的籽晶层而形成在所述基底层之上,所述籽晶层以钙钛矿相的(100)取向作为主取向,具有(111)取向。
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