[发明专利]W-Ti溅射靶有效
| 申请号： | 201580021546.8 | 申请日： | 2015-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN106460160B | 公开（公告）日： | 2018-08-17 |
| 发明（设计）人： | 野中庄平;斋藤淳;大友健志 | 申请（专利权）人： | 三菱综合材料株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B22F5/00;C22C27/04;B22F3/14 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 康泉;王珍仙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的W‑Ti溅射靶具有如下组成：含有5质量％以上且20质量％以下的范围内的Ti及25质量ppm以上且100质量ppm以下的范围内的Fe，且余量由W及不可避免的杂质构成，在靶面内的多处测定Fe浓度，并将所测定的Fe浓度的最大值设为Femax，Fe浓度的最小值设为Femin的情况下，满足(Femax‑Femin)/(Femax+Femin)≤0.25这一关系式。 | ||
| 搜索关键词： | ti 溅射 | ||
【主权项】：
1.一种W‑Ti溅射靶，其通过对含有平均粒径为10μm以下的Fe粉末的原料粉进行烧结而得到，具有如下组成：含有5质量％以上且20质量％以下的范围内的Ti及25质量ppm以上且100质量ppm以下的范围内的Fe，且余量由W及不可避免的杂质构成，Fe扩散在成为母相的W中，在靶面内，包括靶面的中心和外周部分的5个点以上的多处测定Fe浓度，并将所测定的Fe浓度的最大值设为Femax，将Fe浓度的最小值设为Femin的情况下，满足如下关系式：(Femax‑Femin)/(Femax+Femin)≤0.25。
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