[发明专利]喷头设计

摘要

本文所述的实施方式涉及具有反射板的喷头，反射板带有用于径向分配气体的气体注入插件。在一个实施方式中，喷头组件包括反射板与气体注入插件。反射板包括至少一个气体注入口。气体注入插件设置于反射板中，且包括多个孔。气体注入插件还包括设置于气体注入插件中的挡板，其中挡板还包括多个孔。第一气室形成于挡板的第一部分与反射板之间，及第二气室形成于挡板的第二部分与反射板之间。气体注入插件的多个孔与挡板的多个孔不轴向对齐。

主权项

1.一种喷头组件，所述喷头组件包括：反射板，所述反射板具有穿过所述反射板而设置的至少一个气体注入口；以及气体注入插件，所述气体注入插件设置于所述反射板中且具有多个孔，其中所述气体注入插件包含：挡板，所述挡板设置于所述气体注入插件中且具有多个孔，其中第一气室于所述挡板的第一部分与所述反射板之间形成，其中第二气室于所述挡板的第二部分与所述反射板之间形成，及其中所述气体注入插件的所述多个孔与所述挡板的所述多个孔轴向上不对齐；和第三气室，所述第三气室于所述挡板与所述气体注入插件之间形成，所述第三气室通过所述挡板中的所述孔而与所述第一气室和所述第二气室以流体连接。