[发明专利]使用角能量过滤器的角扫描

摘要

提供了一种离子注入系统和方法，用于在被扫描的离子束撞击工件的同时改变被扫描的离子束相对于工件的入射角度。所述系统具有被配置为形成离子束的离子源和被配置为对离子束进行质量分析的质量分析器。离子束扫描器被配置为沿第一方向对离子束进行扫描，从而限定被扫描的离子束。工件支撑件被配置为在其上支撑工件，并且角度注入装置被配置为改变被扫描的离子束相对于工件的入射角度。所述角度注入装置包括角能量过滤器和可操作地耦接到工件支撑件的机械装置中的一个或多个，其中控制器控制所述角度注入装置，从而在被扫描的离子束撞击工件的同时改变被扫描的离子束相对于工件的入射角度。

主权项

1.一种离子注入系统，包括：离子源，被配置为形成离子束；质量分析器，被配置为对离子束进行质量分析；离子束扫描器，被配置为沿着第一轴对离子束进行扫描，从而限定被扫描的离子束；工件支撑件，被配置为在其上支撑工件，并且使所述工件沿第二轴扫描，所述第二轴与所述第一轴正交；角度注入装置，其中所述角度注入装置被配置为沿着所述第二轴改变所述被扫描的离子束相对于工件的入射角度；以及控制器，被配置为控制所述角度注入装置，其中所述控制器被配置为在所述被扫描的离子束撞击工件的同时改变所述被扫描的离子束相对于工件的入射角度，其中所述角度注入装置包括：角能量过滤器，定位于所述离子束扫描器的下游，并且其中所述控制器被配置为改变所述角能量过滤器的输入，从而在所述被扫描的离子束撞击工件的同时改变所述被扫描的离子束相对于工件的入射角度。